Des microvannes actionnées par laser pour remplir la cellule d'une horloge atomique miniature

Les horloges atomiques miniatures sont des instruments compacts de haute précision, destinés notamment à des équipements de télécommunications ou de navigation. Le cœur de ces micro-horloges est constitué d'une cellule de dimensions millimétriques, qui contient des atomes de métal alcalin en phase vapeur dont l'état est mesuré par voie optique à l’aide d’un laser. Ces cellules sur puce sont réalisées par des techniques de microfabrication collective, mais leur remplissage par des gaz n'a pas encore trouvé de solution vraiment satisfaisante : les différentes techniques utilisées, qui doivent éviter l'introduction d'impuretés et garantir l'étanchéité de la cellule, ont chacune des inconvénients et des limitations. Une méthode a été mise au point à l'Institut Femto-ST (CNRS/Comue Université Bourgogne Franche-Comté), en collaboration avec l'Institut d’électronique de microélectronique et de nanotechnologie (IEMN), deux laboratoires de Renatech, le réseau académique français des équipements de pointe dans le domaine des micro et nanotechnologies, piloté par le CNRS. Cette méthode apporte une solution fiable pour remplir des cellules miniatures de manière collective, à l'échelle d'un wafer. De plus, elle peut être adaptée au développement d’autres capteurs et instruments atomiques réalisés par microfabrication.

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